APL-SM Series 全自動晶圓/PSS雕刻機

針對晶圓設計，可使用於藍寶石晶圓或矽晶圓之切割、雕刻與鑽孔，對於不同的需求可採用不同雷射，以雕刻系統單片加工時間只需8秒，並搭配CCD視覺辨識系統，可自動定位及字元辨識(OCR)軟體介面簡單上手。
◎使用機械手臂，全自動上下料
◎可應用於2”~6”晶圓
◎ CCD尋邊定位，自動調整雕刻位置
◎可雙面雕刻、切割及鑽孔